코발트 규화물 분말은 저항률이 낮고 열 안정성이 우수한 특성을 가지며 주로 대규모 집적 회로에 사용됩니다. 또한, 코발트 실리사이드는 실리콘과 유사한 결정 구조를 갖고 있어 실리콘 기판에 에피택셜 CoSi2/Si 구조를 형성할 수 있습니다.
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